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  • 產品名稱: 三氯化硼
  • 英文名稱: Boron Trichloride
  • CAS No.: 10294-34-5
  • 分子式: BCl3
  • 分子量: 117.17
  • 規格: 99.999%
  • 臨界溫度: 178.85℃
  • 臨界壓力: 38.7bar
  • 熔 點: -107.3℃
  • 沸 點: 12.4℃
  • 穩定性: 穩定
  • 主要用途: 用于( 硅 )半導體器件制造工藝中的擴散、摻雜、離子注入

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