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  • 產品名稱: 乙硅烷
  • 英文名稱: Disilane
  • CAS No.: 1590-87-0
  • 分子式: Si2H6
  • 分子量: 62.22
  • 規格: 99.998%
  • 臨界溫度: 158.85℃
  • 臨界壓力: 51.3bar
  • 熔 點: -132.6℃
  • 沸 點: -14.3℃
  • 穩定性: 暴露在空氣中會自燃,遇許多物質會發生劇烈反應或爆炸
  • 主要用途: 非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相淀積。

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