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  • 產品名稱: 鍺烷
  • 英文名稱: Germane
  • CAS No.: 7782-65-2
  • 分子式: GeH4
  • 分子量: 76.63
  • 規格: 99.999%
  • 臨界溫度: 34.85℃
  • 臨界壓力: 34.85℃
  • 熔 點: -165.98℃
  • 沸 點: -88.5℃
  • 穩定性: 穩定
  • 主要用途: 化學氣相淀積、擴散、非晶硅、外延、離子注入。

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