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  • 產品名稱: 三氯氫硅
  • 英文名稱: Trichlorosilane (TCS)
  • CAS No.: 10025-78-2
  • 分子式: SiHCl3
  • 分子量: 135.43
  • 規格: 99.95%
  • 臨界溫度: 205.85℃
  • 臨界壓力: 41.78bar
  • 熔 點: -134℃
  • 沸 點: 31.8℃
  • 穩定性: 穩定
  • 主要用途: 生產半導體硅、單晶硅的原料

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