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  • 產品名稱: 二氯二氫硅
  • 英文名稱: Dichlorosilane(DCS)
  • CAS No.: 4109-96-0
  • 分子式: SiH2Cl2
  • 分子量: 101.01
  • 規格: 99.9%
  • 臨界溫度: 185.85℃
  • 臨界壓力: 45.9bar
  • 熔 點: -122.0℃
  • 沸 點: 8.3℃
  • 穩定性: 穩定
  • 主要用途: 電子氣、外延、化學氣相淀積

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