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  • 產品名稱: 三(二甲基氨基)硅烷
  • 英文名稱: Tris(dimethylamino)silane(3DMAS)
  • CAS No.: 15112-89-7
  • 分子式: C6H19N3Si
  • 分子量: 161.32
  • 規 格: 3N(ICP-MS 5N)
  • 沸 點: 142℃
  • 閃 點: -8.89℃
  • 熔 點: -90 ℃
  • 火災分類: 甲類
  • 物理狀態/顏色: 液體/無色至淺黃色
  • 應 用: 電子材料化學氣相沉積和原子層沉積的前體材料

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