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  • 產品名稱: 三硅基氮烷
  • 英文名稱: TriSylamine(TSA)
  • CAS No.: 13862-16-3
  • 分子式: Si3H9N
  • 分子量: 107.30
  • 規 格:
  • 沸 點: 52℃
  • 閃 點:
  • 熔 點: -106℃
  • 火災分類: 甲類
  • 物理狀態/顏色: 液體/無色
  • 應 用: 電子材料化學氣相沉積和原子層沉積的前體材料

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